
|              泵種類              |                           油封機械泵              |                           水蒸汽噴射泵              |                           羅茨泵              |                           油增壓泵              |                           油擴散泵              |         
|               *工作范圍(Pa)              |                           105~10              |                           105~102              |                           102~1              |                           1~10-1              |                           5×10-2~10-4              |         
真空泵的定律及公式
            
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